"보는"기술의 중요성 ②


이전부터 당사의 "보는"기술에 대해 소개하고 있습니다. 

이번은 전회에 이어서, 어떻게 Micro-MAX 시리즈가 넓은 시야에서 미소 결함의 시각화를 실현하고 있는지에 대해 설명하겠습니다.


암시야계 Micro-MAX VMX65000


이전 글에서 소개한 Micro-MAX VMX-3100 / 6500은 암시야광학계를 이용하고 있습니다.

암시야광학계는 관찰 시료에 빛을 입사시켜 정품이 아닌 반사광과 산란광만을 관찰하는 광학계를 말합니다. 

즉 시료의 표면에 있는 작은 이물질이나 상처로 인해 불규칙적으로 반사나 산란된 빛만을 파악하고 관찰하기 때문에 

일반적으로 관찰 (명시야관찰)에 비해 매우 감도 좋고 이물질이나 상처를 파악할 수 있습니다.


암시야 관찰의 원리


 암시야 광학계에서는 입사광에 대한 불규칙한 반사, 산란을 관찰하기 때문에 시료에 대해 어떤 각도로 빛을 조사하는가하는 것이매우 중요합니다. 

잘못된 방향에서 빛을 조사하면 시료 표면의 상처는 파악할 수 없습니다. 

 Micro-MAX VMX-3100 / 6500은 독자적으로 설계한 파인돔 조명은 고효율 집광으로 시료 표면에 전방위적으로 조명을 조사해 이물질이나 상처의 모양과 방향에 관계없이 모든 결함의 검출 할 수 있습니다.


파인돔 조명에 의한 효율적인 조명


 또한 촬영계에서도 고해상도로 다양한 배율을 가지는 매크로 렌즈를 채용하고 있으며, 암시야 광학계과 결합하여

최대 약 30mm의 시야에서 수 nm ~ 수 μm의 결함 탐지를 가능하게하고 있습니다.


VMX-3100으로 관찰 한 Si 웨이퍼의 표면 
파티클과 모든 방향의 미세한 상처가 넓은 시야로 시각화되어 있습니다

 

Mipox에서는 우리의 "바르는 자르는 닦는 '기술로 완성한 제품의 평가는 물론, 고객의 시료의 표면을' 보는 ' 위한 데모나 수탁 검사도 맡고 있습니다. 


관심을 가지고 계신 분은  문의하십시오.