Micro-Max검사장치

Mipox에서는 비전 사이테크사 검사 장치 Micro-MAX의 취급

Micro-MAX는 하드 디스크와 반도체 기판, 각종 결정 광학 부품 제조시의 초정밀 가공(제조)공정을 중심으로 폭 넓은 용도에 적용 가능한 결함 검사(관찰)장치입니다.
독자적인 광학 조명 시스템에 의한 평면상의 미세한 이상을 증폭·강조하고 초정밀도의 표시 분해능과 거시적인 시야로 초미세 결함 등을 가시화합니다.
일반적으로 레이저 SEM·AFM등의 핀 스폿 검사의 수치 출력 데이터와 맵은 관찰 대상물 전체의 프로파일을 파악하는 것은 힘들지만 Micro-MAX는 넓은 시야를 가지고 시기 적절하게 모니터링할 수 있어 효율적으로 단시간에 요망의 관찰 작업이 가능합니다.
제조 라인에서의 오류 원인 특정과 그 해결 스피드 업에 기여하고 제품 수율 개선 등에 공헌합니다.

실제 기기에서 시연·수탁 측정도 MIPOX 본사에서 접수하고 있으므로 꼭 문의 바랍니다