MIPOX XS-1 검사장치

Mipox주식회사는 유한회사 비젼사이테크,중립연구개발 법인 산업기술 총합연구소 선진파워 일렉트로닉스 연구센터와 공동으로 개발한 SiC 결정전위 결함관찰장치XS-1엑스세스)」을 릴리스 합니다.


XS-1特徴

SiC웨이퍼등의 내부에 존재하는 결정결함이나 내부휨을 고감도리얼타임으로 가시화하는 장치입니다.

비젼 사이테크사 독자의 광학이론과 위상차 연산처리로 작은 위상차를 찾아내어 다양한 결정결함을 가시화합니다.


종래가시광으로의 광학현미경 관찰에서는 불가능하다고 생각되었으나, XS-1X선 토포그래피에 필적하는 결정전위 검출능력을 자랑합니다.



 SiC결정전위 고감도 가시화 장치. XS-1(엑스에스.)

      n형 단결정 4H-SiC웨이퍼의 결정내부 휨에 의한 복굴절을 가시화하고 있다.


XS-1는 파워 디바이스용 반도체로서 주목되고 있는 SiC웨이퍼등의 내부에 존재하는 결정유래의 결함마이크로 파이프관통 칼날모양 전위관통 나사형 전위바닥면 전위적층결함인크루존등을 고감도리얼타임으로 가시화하는 장치입니다비젼 사이테크 독자의 광학이론과 상위차 연산처리특허출원 완료작은 리타데이션 변화나 격자휨의 상세한 프로파일을 발견하여 가시광 영역을 사용하는 레이저 검사장치 또는 편광현미경으로 발견할 수 없는 여러 가지 원자레벨의 결정결함을 관찰하는 것이 가능해졌습니다.

결정휨 관찰에 사용되는 현행의 편광현미경은 물체에 결정구조에 밀접한 관계가 있는 편광이나 복굴절 특성을 관찰하기 위한 광학식 현미경이며편관경 관찰법이나 오서스코프 관찰법등이 이용되고 있습니다그러나 관찰대상이나 미소한 휨이나 전위사이즈가 원자레벨의 격자결함인 경우편광현미경은 감도나 분해능력등광학원리상 적합하지 않다고 생각되고 있으며또 현실적으로 관찰은 불가능했습니다그래서 원자변위 레벨의 휨이나 미소한 전위결함의 관찰이나 평가.분석을 하는데에는 파괴검사로서 에칭에 의한 에치피트 관찰법비파괴검사로는 포토 루미네선스(PL)이메이징 측정법또는 싱크로트론 방사광에 의한 X선 토포그래피등의 대형방사광 시설에 의한 관찰법밖에 없었습니다.


XS-1은 광학식으로서의 편광이나 복굴절 특성을 기본으로 하여종래에 없는 일축성 극성결정체에 특화한 독자적인 광학계와 위상차 연산을 구사한 기술(특허출원 완료)로 싱크로트론 방사광에 의한 X선 토포그래피등의 대형방사광 시설의 관찰에 필적또는 그 이상의 정보를 얻는데 성공하였습니다그리하여 재료의 평가가 현장레벨에 가능해지고또 그에 요하는 코스트가 대폭 경감됩니다.



                    그림1.시판되는 공업용현미경으로 투과편광모양


                      그림2.XS-1의 투과편광 모양


                  관찰대상:350um두께 n형 단결정 4H-SiC웨이퍼


               평가협력:산총연.선진 파워 일레트로닉스 연구센타


        그림3:XS-1에 의한 투과편광 모양

                 관찰대상:단결정 GaN웨이퍼