(출처)https://www.mipox.co.jp/media/archives/85
2023.04.28
Mipox의 수탁 가공의 라인 업인 「접합 가공」에 대해서 이전에 소개했습니다만, 접합 가공을 실시함에 있어서, 동일 소재·이종 소재 모두, 접합면의 상태가 매우 중요한 요소가 됩니다. 이번은 이 접합면의 상태의 처리에 대해 소개합니다.
관련 기사：Mipox가 전개하는 반도체 웨이퍼 「접합 가공」과 전후의 「가공 처리」에 대해서
목차
- - 접합 가공 서비스 전처리에 대해서
- - 전처리 가공의 구체적인 내용
- - 표면 거칠기 개선
- - 표면 청정도 향상
- - 접합 가공 후의 구체적인 품질 확인
- - 적외선 카메라 이미지로 접합 상태 확인
- - 블레이드 삽입에 의한 접합 강도 확인
- - 접합 가공 후의 웨이퍼 외주부의 처리 가공
- - 엣지 트리밍
- - 거칠기 조정 가공
- - 요약
접합 가공 서비스 전처리에 대해서
당사는 국내에서도 몇 안 되는 접합 가공을 수탁으로 계약하는 비즈니스를 전개하고 있습니다. 상온 접합 가공 서비스에서는 접합 가공뿐만 아니라 표면 상태를 적정한 상태로 가공하는 연마 가공 서비스나 접합면의 청정도를 향상시켜 오염의 혼입을 막는 세정 가공 서비스도 함께 실시하고 있습니다.
폐사에서 청부하는 많은 접합 소재는 반도체 용도로 사용되는 경우가 많아, 보이드의 발생이나 오염 혼입 등에 의한 접합의 불량이 큰 문제가 되는 경우가 있습니다. 그 때문에, Mipox에서는 아래에 기재하는 전가공을 실시해, 접합 상태의 향상에 노력하고 있습니다.
전처리 가공의 구체적인 내용
표면 거칠기 개선
일반적인 접합 방식에서는, 각각의 소재의 접합면과 접합면 사이에 점착제나 점착 시트를 개재시킵니다. 이에 반해 Mipox에서는 소재와 소재를 직접 접합하므로 각 소재의 표면 거칠기가 미세한 상태가 적합합니다. 소재 표면의 거칠기가 아직 거칠어지면, 소재끼리의 접합면에 공극이 생겨 접합 불량이 생길 가능성이 있습니다. 이 때문에, 당사가 자랑으로 하는 마무리 연마 가공을 실시하고 있습니다. 단결정 소재, 다결정 소재, 금속, 유리 등 각 소재에 적합한 독자 배합의 연마제를 이용해, 적절한 표면 상태를 만들어 냅니다.
표면 청정도 향상
상기 공정에서 각각의 접합면의 거칠기가 적정한 상태가 되었다고 해도, 각 표면에 이물질이 부착함으로써 접합 후의 이물질 혼입이 발생하여, 특정 개소의 제품 결함이 발생하는 것 외에, 접합 자체 할 수 없게 될 우려가 있습니다.
그래서 Mipox에서는 접합 전의 각 소재에 대해 적정한 세정 처리를 실시합니다. 일반적으로 이용되는 스크럽 세정이나 약액을 사용한 세정 등, 각 소재에 적합한 세정 처리를 실시하는 것으로, 접합 가공의 정밀도나 품질을 향상합니다.
접합 가공 후의 구체적인 품질 확인
적외선 카메라 이미지로 접합 상태 확인
Mipox에서는, 접합 가공 후의 품질 확인의 일환으로서, 적외선 카메라에 의한 접합 상태의 확인을 실시하고 있습니다. 접합 소재가 투명체인 경우는, 육안으로의 접합 상태 확인이나 보이드 유무의 확인 등, 육안이나 현미경을 이용한 검사·확인이 가능합니다만, 비투명체의 접합 후의 검사의 경우는, 육안이나 현미경에서는 접합 상태의 확인을 용이하게 실시할 수 없기 때문에, 적외선 카메라로 접합 상태의 확인을 실시합니다.
(적외선 카메라에 의한 접합 후의 상태 확인)
블레이드 삽입에 의한 접합 강도 확인
접합 가공 후는, 육안이나 현미경, 적외선 카메라에 의한 접합의 상태 확인을 실시합니다만, 실제의 접합 강도에 대해서도 블레이드 삽입에 의한 접합 강도의 시험을 실시합니다.
(블레이드(면도날)를 Wafer 단면에 삽입한 이미지)
접합 가공 후의 웨이퍼 외주부의 처리 가공
Mipox에서는, 접합 가공 후의 웨이퍼에 대해서, 엣지 트리트먼트 처리를 실시하는 것이 가능합니다. 접합 가공 후의 박화 가공시에, 웨이퍼가 파손되는 것을 막기 위해, 엣지 트리밍 가공이나 조도 조정 가공을 실시하는 것이 가능합니다.
엣지 트리밍
접합 후의 기판의 단면 부분에 연마 처리를 실시해, 박화 공정시에 효율적으로 박화할 수 있는 형상으로 가공하는 것이 가능합니다.
(가공 예 일람)
거칠기 조정 가공
접합 후의 기판의 단면 부분의 거칠기를 조정해, 치핑이나 크랙의 방지를 실시합니다.
(Si 기판 조도 조정 후 사진)
요약
Mipox는 접합 가공 전에 각 기판의 표면 상태를 적절한 상태로 실시하는 가공이나 세정을 실시합니다. 또한 접합 가공 후에는 접합 상태의 확인을 실시합니다. 접합 가공 후의 웨이퍼 단면 형상의 조정이나 조도 조정이 가능합니다.
(출처)https://www.mipox.co.jp/media/archives/85
2023.04.28
Mipox의 수탁 가공의 라인 업인 「접합 가공」에 대해서 이전에 소개했습니다만, 접합 가공을 실시함에 있어서, 동일 소재·이종 소재 모두, 접합면의 상태가 매우 중요한 요소가 됩니다. 이번은 이 접합면의 상태의 처리에 대해 소개합니다.
관련 기사：Mipox가 전개하는 반도체 웨이퍼 「접합 가공」과 전후의 「가공 처리」에 대해서
목차
접합 가공 서비스 전처리에 대해서
당사는 국내에서도 몇 안 되는 접합 가공을 수탁으로 계약하는 비즈니스를 전개하고 있습니다. 상온 접합 가공 서비스에서는 접합 가공뿐만 아니라 표면 상태를 적정한 상태로 가공하는 연마 가공 서비스나 접합면의 청정도를 향상시켜 오염의 혼입을 막는 세정 가공 서비스도 함께 실시하고 있습니다.
폐사에서 청부하는 많은 접합 소재는 반도체 용도로 사용되는 경우가 많아, 보이드의 발생이나 오염 혼입 등에 의한 접합의 불량이 큰 문제가 되는 경우가 있습니다. 그 때문에, Mipox에서는 아래에 기재하는 전가공을 실시해, 접합 상태의 향상에 노력하고 있습니다.
전처리 가공의 구체적인 내용
표면 거칠기 개선
일반적인 접합 방식에서는, 각각의 소재의 접합면과 접합면 사이에 점착제나 점착 시트를 개재시킵니다. 이에 반해 Mipox에서는 소재와 소재를 직접 접합하므로 각 소재의 표면 거칠기가 미세한 상태가 적합합니다. 소재 표면의 거칠기가 아직 거칠어지면, 소재끼리의 접합면에 공극이 생겨 접합 불량이 생길 가능성이 있습니다. 이 때문에, 당사가 자랑으로 하는 마무리 연마 가공을 실시하고 있습니다. 단결정 소재, 다결정 소재, 금속, 유리 등 각 소재에 적합한 독자 배합의 연마제를 이용해, 적절한 표면 상태를 만들어 냅니다.
표면 청정도 향상
상기 공정에서 각각의 접합면의 거칠기가 적정한 상태가 되었다고 해도, 각 표면에 이물질이 부착함으로써 접합 후의 이물질 혼입이 발생하여, 특정 개소의 제품 결함이 발생하는 것 외에, 접합 자체 할 수 없게 될 우려가 있습니다.
그래서 Mipox에서는 접합 전의 각 소재에 대해 적정한 세정 처리를 실시합니다. 일반적으로 이용되는 스크럽 세정이나 약액을 사용한 세정 등, 각 소재에 적합한 세정 처리를 실시하는 것으로, 접합 가공의 정밀도나 품질을 향상합니다.
접합 가공 후의 구체적인 품질 확인
적외선 카메라 이미지로 접합 상태 확인
Mipox에서는, 접합 가공 후의 품질 확인의 일환으로서, 적외선 카메라에 의한 접합 상태의 확인을 실시하고 있습니다. 접합 소재가 투명체인 경우는, 육안으로의 접합 상태 확인이나 보이드 유무의 확인 등, 육안이나 현미경을 이용한 검사·확인이 가능합니다만, 비투명체의 접합 후의 검사의 경우는, 육안이나 현미경에서는 접합 상태의 확인을 용이하게 실시할 수 없기 때문에, 적외선 카메라로 접합 상태의 확인을 실시합니다.
(적외선 카메라에 의한 접합 후의 상태 확인)
블레이드 삽입에 의한 접합 강도 확인
접합 가공 후는, 육안이나 현미경, 적외선 카메라에 의한 접합의 상태 확인을 실시합니다만, 실제의 접합 강도에 대해서도 블레이드 삽입에 의한 접합 강도의 시험을 실시합니다.
(블레이드(면도날)를 Wafer 단면에 삽입한 이미지)
접합 가공 후의 웨이퍼 외주부의 처리 가공
Mipox에서는, 접합 가공 후의 웨이퍼에 대해서, 엣지 트리트먼트 처리를 실시하는 것이 가능합니다. 접합 가공 후의 박화 가공시에, 웨이퍼가 파손되는 것을 막기 위해, 엣지 트리밍 가공이나 조도 조정 가공을 실시하는 것이 가능합니다.
엣지 트리밍
접합 후의 기판의 단면 부분에 연마 처리를 실시해, 박화 공정시에 효율적으로 박화할 수 있는 형상으로 가공하는 것이 가능합니다.
(가공 예 일람)
거칠기 조정 가공
접합 후의 기판의 단면 부분의 거칠기를 조정해, 치핑이나 크랙의 방지를 실시합니다.
(Si 기판 조도 조정 후 사진)
요약
Mipox는 접합 가공 전에 각 기판의 표면 상태를 적절한 상태로 실시하는 가공이나 세정을 실시합니다. 또한 접합 가공 후에는 접합 상태의 확인을 실시합니다. 접합 가공 후의 웨이퍼 단면 형상의 조정이나 조도 조정이 가능합니다.