Filtration & Heaters (여과 및 가열 시스템)

*Capsule filters 캡슐 필터

*CMP slurry capsule filters CMP 슬러리 캡슐 필터

*Filter cartridges 필터 카트리지

*Gas filters 가스 필터

*Photoresist filters 감광액(포토레지스트) 필터

*Inline heaters 인라인 히터

*Ultra-pure Stand-Alone heaters 초고순도 독립형 히터

*Cabinet heater 캐비닛 히터

*Tank heater 탱크 히터

*Immersion heater 침전식(이머전) 히터

출처: https://www.esproflow.com/