화합물 반도체용 슬러리

다결정 다이아몬드(슬러리)

다결정 다이아몬드는 화합물 반도체의 마무리 연마 공정에서 높은 성능을 발휘합니다. 

기타 실리카, 알루미나 연마를 이용한 마무리 연마 슬러리도 제안 하고 제공합니다.

나노 다이몬드(슬러리)

나노 다이아몬드도 화합물 반도체의 마무리 전의 연마 공정이나 각종 연마 요구에 대응이 가능합니다. 일반적으로 연마 슬러리와 연마 패드의 조합으로 최종 연마를 합니다만 MIPOX의 연마 방법은 나노 레벨의 초미립자 다이아몬드 슬러리를 사용하여 연마 패드를 이용하지 않고 나노 수준의 표면 가공을 할 수 있습니다.