화합물 반도체 용 슬러리

다결정 다이아몬드(슬러리)

다결정 다이아몬드는 화합물 반도체의 마무리 연마 공정에서 높은 성능을 발휘합니다. 기타 실리카, 알루미나 연마재를 이용한 마무리 연마 슬러리를 정의하고 제공합니다

3μm

1μm

나노 다이아몬드(슬러리)

나노 다이아몬드도 화합물 반도체의 마무리 전의 연마 공정이나 각 연마 요구에 대응 가능합니다. 일반적으로 연마 슬러리와 연마 패드의 편성으로 최종 연마를 할 곳을 우리의 연마 방법에서는 나노 레벨의 초미립자 다이아몬드 슬러리를 사용하여 연마 패드를 이용하지 않고 나노 수준의 표면 처리를 할 수 있습니다.

Polishing Process for GaN

Polishing Process for SiC